• LED基板研磨砂輪

LED基板研磨砂轮

在半导体元器件的前段加工中,晶圆基板的减薄研磨需要用各种各样的钻石砂轮,常用的LED基板有砷化镓(GaAs)和人造蓝宝石(单晶氧化铝),在对这两种材料的减薄研磨中,必须保证基板的平行度和表面粗糙度,同时整个晶圆不得有任何细微的裂纹,这就对所使用的钻石砂轮提出很高的要求,经过我们与客户密切合作,开发出了适合这两种材料的砂轮。

产品叙述

在半导体元器件的前段加工中,晶圆基板的减薄研磨需要用各种各样的钻石砂轮,常用的LED基板有砷化镓(GaAs)和人造蓝宝石(单晶氧化铝),在对这两种材料的减薄研磨中,必须保证基板的平行度和表面粗糙度,同时整个晶圆不得有任何细微的裂纹,这就对所使用的钻石砂轮提出很高的要求,经过我们与客户密切合作,开发出了适合这两种材料的砂轮。

 

结合剂

形状

D(mm)

W(mm)

X(mm)

H(mm)

粒度

用途

陶瓷

金属

6A2

150

3-10

5-10

M12x1.75

D300-3000

蓝宝石/砷化镓

6A9S

254

4

8+1

155

D300-3000

硅晶圆回

6A9S

254

3-4

10+2

155

D300-400

蓝宝石

 

适用于GaAs等半导体材料的平面研

结合剂

形状

D(mm)

X(mm)

U(mm)

L(mm)

H(mm)

粒度

树脂

6A9

150

3

8

20

M12

D400-D2000

 

亦可依据客人提供资料、图面等资讯进行客制。